一般称电导率小于0.1μS/cm的纯水为高纯水。在工艺条件下制备的高纯水，杂质近乎为零。高纯水电导率(或电阻率)是水质要求关健指标。

高纯水制备的典型工艺流程如下：

源水→过滤→活性炭过滤器(或有机大孔树脂吸附器)→反渗透器(或电渗析器)→阳离子交换柱→阴离子交换柱→混合离子交换柱→有机物吸附柱→紫外灯杀菌器→精密过滤器→高纯水。

制定高纯水标准主要依据：
      (1).微电子工艺对水质的要求；
      (2).制水工艺的发展水平；
      (3).水中杂质监测技术的现状等。

目前，在1G(及以上)位超大规模集成电路制造中，对高纯水的技术要求很严。

电极常数标定：用标准纯水(已知电导率值)作为标定溶液，标定电极常数。标定前用高纯水把电极清洗干净，并用虑纸吸干水分，再用标定纯水适量冲洗。

十分感谢高纯水领域的工程师们在测量应用工艺方面的经验、探索和创新。